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熱式MEMS流量センサー
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精密部品

熱式MEMS流量センサー

WW-CMP-110

MEMSチップ、成形バイパス流路、デジタル処理を統合した熱式流量センサーです。線形化アナログ出力を備え、用途に応じた測定上限を選択できます。

用途

  • 分析装置の流量監視
  • 粒子監視装置
  • 産業プロセス流量

仕様

測定方式MEMS
測定範囲0–30 / 200 / 1000 / 20000 sccm
応答時間<50 ms
インターフェース1–5 V
電源7–15 V
動作温度0–50 °C

仕様はモデルや構成によって異なる場合があります。ご用途への適合性については、お問い合わせください。

メーカー: Sheens

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