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WattwiseSolutions LLC技術データ

ガスマスフローコントローラー

WW-CMP-106WW-CMP-107
ガスマスフローコントローラー

MEMS流量センサー、比例弁、デジタル制御を統合してガス供給を調整します。アナログ・RS485信号に対応し、ガス種とフルスケール流量を選択します。

用途

  • ガス希釈
  • 分析機器
  • バイオプロセス流量制御
  • 半導体プロセス

仕様

測定方式MEMS
精度≤±1% FS
インターフェース0–5 VDC / RS485
電源24 VDC / <2.4 W
動作温度5–40 °C

仕様はモデルや構成によって異なる場合があります。ご用途への適合性については、お問い合わせください。

Wattwise Solutions LLC
56 White Blossom, Irvine, CA 92620, United States
+1 949-748-0422 | [email protected]