ガスマスフローコントローラー

MEMS流量センサー、比例弁、デジタル制御を統合してガス供給を調整します。アナログ・RS485信号に対応し、ガス種とフルスケール流量を選択します。
用途
- ガス希釈
- 分析機器
- バイオプロセス流量制御
- 半導体プロセス
仕様
| 測定方式 | MEMS |
|---|---|
| 精度 | ≤±1% FS |
| インターフェース | 0–5 VDC / RS485 |
| 電源 | 24 VDC / <2.4 W |
| 動作温度 | 5–40 °C |
仕様はモデルや構成によって異なる場合があります。ご用途への適合性については、お問い合わせください。
Wattwise Solutions LLC
56 White Blossom, Irvine, CA 92620, United States
+1 949-748-0422 | [email protected]
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