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Gas-Massendurchflussregler
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Präzisionskomponenten

Gas-Massendurchflussregler

WW-CMP-106WW-CMP-107

Massendurchflussregler kombinieren MEMS-Sensorik, Proportionalventil und digitale Regelung. Analoge und RS485-Signale unterstützen Gasanalyse, Verdünnung und Prozessversorgung; Gasart und Endwert werden für die jeweilige Installation ausgewählt.

Anwendungen

  • Gasverdünnung
  • Analysengeräte
  • Bioprozess-Durchflussregelung
  • Halbleiterprozesse

Spezifikationen

MessverfahrenMEMS
Genauigkeit≤±1% FS
Schnittstelle0–5 VDC / RS485
Stromversorgung24 VDC / <2.4 W
Betriebstemperatur5–40 °C

Die Spezifikationen können je nach Modell und Konfiguration variieren. Kontaktieren Sie uns, um die Eignung für Ihre Anwendung zu klären.

Hersteller: Sheens

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